Mikroskop elektronowy jest to mikroskop, który do obrazowania wykorzystuje wiązkę elektronów przyspieszanych do dużych prędkości. Pierwszy mikroskop elektronowy skonstruowali w 1931 roku w Berlinie Ernst Rusk i Maks Knoll.
Podstawowym parametrem charakteryzującym mikroskop jest zdolność rozdzielcza. Rozdzielczość mikroskopu jest tym większa im większa energia elektronów, a tym samym krótsza długość fali.
Dla mikroskopu optycznego granica rozdzielczości wynosi ok. 200 nm.
Budowa elektronowego mikroskopu transmisyjnego
1 - kolumna mikroskopu,
2 - działo elektronowe,
3 - wiązka elektronowa,
4 - katoda,
5 - anoda,
6 - cewka ogniskująca,
7 - badana próbka,
8 - obiektyw,
9 - okular,
10 - detektor.
Zasada działania
Badana próbka zwykle pokrywana jest cienką warstwą metalu i umieszczana jest w próżni. Wiązka elektronów przemiatając badany obiekt trafia do detektorów i dzięki urządzeniom elektronicznym na podstawie zarejestrowanych sygnałów odtwarzany jest obraz badanej próbki.
Przykładowe zastosowanie:
- badanie preparatów biologicznych,
- analiza struktury oraz powierzchni próbki,
- badanie wiązań chemicznych,
- analiza ilości, rodzaju oraz rozkładu pierwiastków chemicznych w próbce.